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靶材柔性自动化方案正式启动,思瑞CROMA三坐标为其提供精准测量保障

发表时间:2021-12-22 09:12:27 作者:三坐标 来源:www.serein.com.cn 浏览:665

溅射是半导体制造中一道不可或缺的工序,用以制备薄膜材料。在实际生产中通过使用离子轰击的方式将靶材上的原子逸出至单晶硅基板上,形成金属薄膜。

 

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靶材是溅射工艺中使用中的关键核心材料。目前靶材行业被美日大企业垄断把控,其他厂商想要在激烈的竞争中脱颖而出,就需要在技术、质量实力后来居上。其中质量控制离不开高精密测量技术。


宁波江丰电子材料股份有限公司是国产集成电路材料的核心企业,其研发生产的超高纯金属溅射靶材填补了中国在此领域的空白,满足不断扩大的市场需求。

 

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为了提升靶材尺寸测量效率,缩短交付周期,缓解劳动力缺口压力,江丰电子在2021年12月6日正式启动自动化检测引进项目。本项目由思瑞提供密检测设备、模德宝提供柔性自动化解决方案,携手合作突破行业瓶颈。

 

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这份自动化方案中采用了思瑞CROMA686三坐标作为测量机型。CROMA采用海克斯康专门打造的控制系统,提供21项误差空间修正技术和自动调谐功能,保证机器的动态性能和测量精度。

此外,CROMA搭载的多项核心技术为精密测量提供保障。先进全铝技术、精密60°三角梁技术、高精密气浮系统、欧洲进口光栅尺多项核心技术保证其测量精度。

 

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精心制造的CROMA三坐标为稳定测量提供坚实保障。选材上基于集团供应链平台,让CROMA均选用优质零件。制造中采用高标准工艺流程和工艺装备,保证机器质量。


在此方案中,CROMA机型搭载了自动化模块系统,可以实现和机器人、上下料系统以及相关传感器的信息互动。通过自动化管理软件,自动完成工件测量,分析判断工件检测结果,根据需要生成检测报告及数据。


思瑞测量为此次三坐标柔性自动化检测线项目提供了精准测量保障。此后思瑞将持续关注制造行业的测量需求,不断创新,帮助相关制造行业实现高效率精准测量做出更大的贡献。


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